（4）碱性剥离排气：主要来源为阵列工程的剥离工序所使用之剥离液,废气首先 经过冷凝吸收器,将废气中的剥离液冷却下来,冷凝器吸收处理后的废气所含的废 气浓度会大为下降,然后送至Central Scrubber做水洗中和处理，再由风机排入 大气。

　　4.5.1尚未安装前，切勿随意拆除盲封以免造成法兰面损坏。 安装人员应小心搬运，以免造成风管表面的铁氟龙受损而产生针孔。 4.5.2螺丝应以适当的力矩对角锁紧。 4.5.3如果法兰面发生泄漏，但泄漏一方的螺丝已被适当地锁紧，则勿再逼 紧螺丝，以免损坏法兰面。正确的方法是将对角线的螺丝放松半圈，然后 再将泄漏一方的螺丝以相同的力量锁紧。如果还是泄漏，则需更换PTFE垫 圈。

　　n风量平衡调节作用一：风机达到一个相对的输出频率，长年达到一个节能 效果； o风量平衡调节作用二:确保系统的风量平衡，可达机台需求；

　　1、检查管路是否漏气。 2、用风速计测量各出风口或分歧管干管管路。 3、将测试风量与设计风量做统计分析，自动或手动调整风阀开度 ，再Recheck风量使其达到平衡风量之需求。

　　（3）有机溶剂排气：其主要来源于涂胶、显影工序和各工序使用有机溶剂 清洗过程时所产生，需经有机废气处理设备处理后，再由风机排入大气。

　　4.1.1所有管件均需盲封包装运送，工地在收货后经详细点数量及做目视检 验，合格后放置于架子上。 4.1.2发现有撞伤及凹陷之管件则需判定能否修缮，若不能修复就退件重做 ，若能修复则完成修复后再次做针孔测试，合格后才能使用。 4.1.3材料进场后仍需不定期对Coating管件进行抽查检验。 4.1.4进场的Coating材料仍然需抽检20%管件做针孔测试确保品质。 4.1.5风管盲封之处必需在进行安装工程时才能拆掉。

　　管路安装需遵循横平竖 直，针对带水气系统（ SEX、AEX）于水平管路 最低点增设排液孔。

　　风量（Q）：通俗指的是相对的截面积与该截面速度之积，一般在使用上以 下式来表示：

　　4.2.1依管件类别、尺寸大小，顺序整齐排列于风管放置区。 4.2.2标示风管置放区，须拉警戒线，提醒人以防受外物碰撞损坏,并挂上物 料暂存申请单。 4.2.3搬运过程中须小心轻放。 4.2.4严禁将风管于地面滚动，平法兰面严禁放置地上或与其他物体接触。 4.2.5拆下包装材料须摆置整齐不可随意堆放。

　　一. 排气定义 二. 制程排气系统分类 三. 制程排气风管材质介绍 四. 材料管控及施工品质 五. 风量平衡调节

　　将工厂内生产机器散热时所产生粉尘、颗粒或含酸碱值的气体，经 风管由机械或洗涤设备排至室外。其主要作用:排除工艺热气、废气,为 生产区域人员提供一个安全的生产环境。

　　3.1特氟龙内衬管为不锈钢全焊管（SUS 304 或SUS 316L ）内 衬特氟龙（PTFE）。特氟龙（氟塑料）为氟磷高分子之化学品，具 有优异的高热性、绝缘性、耐蚀性、低燃性等特性.目前主要应用于 半导体工业、化工工程之防腐耐酸碱工艺排气；不锈钢全焊管（SUS 304 或SUS 316L）因其优异的耐蚀性、耐热性、高强度。主要用于 无尘室，半导体业，印刷电路板业，石化业，制药业，造纸业，食 品加工等工业的一般排气系统，强酸碱排气系统，有机溶剂排气系 统。

　　（1）一般排气：其来源于机台运转发热产生不含有害物质或是高温气体，但考虑无 尘室空调负荷与过滤装置负荷，因此将废气以一般风车抽至大气排放至大气环境而 不需处理。

　　上图采用力矩对角锁法兰闭 合度均匀；下图非力矩对角 锁法兰闭合度不均匀，有可 能造成漏气现象。

　　与风管接触之附属金属 配件需与风管材质相同 ，若不同需夹隔PVC垫 片，以防止时间久了发 生电解现象。

　　4.4.1依设计图施做，不得随意改变管径大小。 4.4.2螺钉螺帽之使用均需与风管材质一致，镀锌铁皮风管应采 用镀锌材 质，不锈钢风管应采用不锈钢材质。 4.4.3风管法兰之连接必须气密，镀锌铁皮风管法兰之垫片采用PVC材质， 不锈钢风管法兰之垫片应采用PTFE软质垫圈。 4.4.4管路配置需遵循横平竖直原则。 4.4.5圆弯头之中心线风管吊支架需严格按照国标施加，风速之增加而有震动，须依规用 角铁链接及角铁加强。

　　4.3.1外观：包装应完整无损，管件外表不可有任何损伤。 4.3.2针孔：Coating风管针孔的检测，使用针孔检知器，调整电压2.5KV，来 检测风管涂膜是否有针孔，若以检知器扫过Coating表面产生Alarm则标示 Duct有针孔。 4.3.3膜厚：采用膜厚测定仪 225µ~300µ之间（平均值250µ，取样8 point) 4.3.4焊道：使用液渗透检测，以检视焊道品质是否合乎规定。 4.3.5管壁厚度：使用游标卡尺进行测量，以检视是否符合国标标准。

　　3.2镀锌螺旋风管是用金属带料卷制成螺旋形咬缝的薄壁管 ,圆形，无焊 接，多用于一般送风。

　　（2）酸碱性排气：其主要来源于化学清洗工作站，清洗晶片时所产生之挥发性气 体，此气体部分含有浓烟，部分则对呼吸系统有刺激性作用有害人体，故必须经过 Scrubber中水洗中和处理，再由风机排入大气。

　　（5）应急排气：当洁净室机台端风管内探头感应气体浓度过高时，紧急启用以 使生产正常并维持室内环境。